大連特種氣體-特種氣體公司-安徽譜純氣體公司(多圖)：

合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

在半導(dǎo)體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴(kuò)散等過程中使用的各種化學(xué)氣體，大連特種氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。

高純CO2生產(chǎn)技術(shù)&高純特種氣體生產(chǎn)技術(shù)

一、高純CO2生產(chǎn)技術(shù)

（一）技術(shù)簡介

本技術(shù)以合成氨企業(yè)、酒精廠、石灰窯等企業(yè)排放的高濃度 CO2 廢氣為原料生產(chǎn)工業(yè)級 GB/T6052-2011、食品級 GB10621-2006和高純級 GB/T23938-2009 高純液體二氧化碳。產(chǎn)品滿足油田驅(qū)油、焊接、食品（啤酒和可樂）等多種行業(yè)的需求。變廢為寶的同時享受國家科技部、工信1部等多家部門的資金補貼。

（二）技術(shù)優(yōu)勢

1、能耗1低

每噸食品級能耗≤160kwh，較傳統(tǒng)工藝降低 20%以上，裝置能夠?qū)崿F(xiàn)工業(yè)級產(chǎn)品與食品級產(chǎn)品的互相切換，以應(yīng)對多變的市場條件。

2、裝置高度集成

所有低溫精餾設(shè)備在冷箱內(nèi)集成，大幅節(jié)約土地和各類維護(hù)成本，特種氣體供應(yīng)商， 運營過程中冷損降至1低。

3、獨有的共沸精餾技術(shù)

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特種氣體廠，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。

特種氣體 (Specialty gases) ：指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的， 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多， 通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等， 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

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